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保有設備

評価・分析装置
X線回折装置 
単結晶用4軸ゴニオメーター 
 
サファイア基板のロッキングカーブ測定例
 結晶の構造を高精度で解析・評価するために不可欠な装置です。 
 
原子間力顕微鏡(AFM) 
   
 高精度な研磨表面を観察・測定します。
 サブナノメートルオーダーでの表面測定が可能です。 
 
 TiO2(ルチル)基板のAFM像と模式図 
 
レーザー干渉計 
 研磨品の平坦度・平行度を高精度で測定します。 
   
ウェハーパーティクル検査装置 
 基板表面の微小な異物を高速・高精度で検出します。 
   

製造設備・装置

クリーンルーム 
   
 高品質な基板表面を実現するためには、高い清浄度を維持することが欠かせません。
   
スパッタリング装置 
 反射防止(AR)コートなどの製膜装置です。 
 
 ARコート膜の例  
   
ベルヌーイ炉 
 サファイア、ルチル、チタン酸ストロンチウムなどの結晶を育成します。 
   

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