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LED用サファイア基板
青色・白色LEDに代表される、V族窒化物半導体用に信光社のサファイア基板をご利用ください。
 
信光社サファイア基板の特徴
・すぐれた加工精度
 すぐれたそり・平行度の加工精度を実現! 
 
 干渉計での測定画像  
・すぐれた表面
 サブナノオーダーで加工した表面!
   
 原子間力顕微鏡(AFM)画像  
・すぐれた洗浄度
 高い洗浄能力により、成膜プロセスに適した基板をご提供します!
    
 サファイア基板表面のパーティクル分布  
・すぐれた結晶
 結晶性のよい製品を厳選してお届け!
   
   サファイアのX線ロッキングカーブ

標準スペック                                       
片面研磨 φ2インチ φ3インチ φ4インチ
直径 50.8mm 76.2mm 100.0mm
厚さ
平坦度 <13μm <15μm <20μm
平行度 <10μm <15μm <20μ
オリフラ
長さ
16±1mm 22±2mm 32±2mm
(※)…ご相談ください。








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