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安定化ジルコニア(YSZ)基板


物性
組成 Y2O3(10 mol%)-ZrO2(90 mol%)
結晶系 立方晶
結晶構造 CaF2
格子定数 a=0.5139 nm
融点 2500 ℃
密度 6.05 g/cm3(20 ℃)
育成方法  スカルメルト法
誘電率 27 (300 K, 1MHz)
熱膨張係数 10.3×10-6/℃


標準仕様
サイズ
(外形公差:±0.1mm
厚み公差:±0.05mm)
10×10×0.5 mmt
15×15×0.5 mmt
面方位
(公差:±0.5°)
(100), (111)
研磨 片面研磨、両面研磨
 表面粗さ Ra≦1.0 nm
Rmax≦5.0 nm
オプション OFF基板
ブレイク溝付き基板

※お客様のご要望により特殊仕様も承りますのでお問い合わせください。

※納期について
 標準品:受注後約1週間
 特殊仕様品:受注後約1か月〜





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