信光社 SHINKOSHA

チタン酸ストロンチウム基板

　SrTiO3は代表的なペロブスカイト構造をもつ基板として、強誘電体や超伝導体薄膜などの基板として広く使われております。

　弊社では、ベルヌーイ法による結晶成長から、基板加工まで一貫生産を行っており、品質、生産量とも世界トップレベルを誇っております。

　Nbをドープし導電性を持たせたNb:SrTiO3基板や原子レベルで平坦なSTEP基板もご提供しております。皆様のご研究にお役立て下さい。

標準仕様
	SrTiO3	Nb(0.05 wt%):SrTiO3 Nb≒0.1 at%	Nb(0.5 wt%):SrTiO3 Nb≒1.0 at%
純度	>99.98 %	>99.98 %	>99.98 %
抵抗率 (Ω・cm)	>10⁷	7～10×10^-2	3～7×10^-3
キャリア密度 (cm^-3)	―	1～2×10¹⁹	1～2×10²⁰
面方位（公差：±0.5 °）	(100), (110), (111)	(100), (110), (111)	(100), (110), (111)
サイズ (外形公差±0.1mm 厚み公差±0.05mm)	10×10×0.5t 15×15×0.5t	10×10×0.5t 15×15×0.5t	10×10×0.5t 15×15×0.5t
研磨	片面、両面	片面、両面	片面、両面
表面粗さ	Ra≦1.0nm Rmax≦5.0nm	Ra≦1.0nm Rmax≦5.0nm	Ra≦1.0nm Rmax≦5.0nm
平坦度 (λ=632.8 nm)	10×10≦λ 15×15≦1.5λ	10×10≦λ 15×15≦1.5λ	10×10≦λ 15×15≦1.5λ
オプション	STEP基板 OFF基板バイクリスタル基板ブレイク溝付き基板	STEP基板 OFF基板バイクリスタル基板ブレイク溝付き基板	OFF基板バイクリスタル基板ブレイク溝付き基板

※お客様のご要望により特殊仕様も承りますのでお問い合わせください。

※納期について：
　標準品：受注後約１週間
　特殊仕様品：受注後約1か月～