標準仕様 |
|
SrTiO3 |
Nb(0.05 wt%):SrTiO3
Nb≒0.1 at% |
Nb(0.5 wt%):SrTiO3
Nb≒1.0 at% |
純度 |
>99.98 % |
>99.98 % |
>99.98 % |
抵抗率
(Ω・cm) |
>107 |
7〜10×10-2 |
3〜7×10-3 |
キャリア密度
(cm-3) |
― |
1〜2×1019 |
1〜2×1020 |
面方位
(公差:±0.5 °) |
(100), (110), (111) |
(100), (110), (111) |
(100), (110), (111) |
サイズ
(外形公差±0.1mm
厚み公差±0.05mm) |
10×10×0.5t
15×15×0.5t |
10×10×0.5t
15×15×0.5t |
10×10×0.5t
15×15×0.5t |
研磨 |
片面、両面 |
片面、両面 |
片面、両面 |
表面粗さ |
Ra≦1.0nm
Rmax≦5.0nm |
Ra≦1.0nm
Rmax≦5.0nm |
Ra≦1.0nm
Rmax≦5.0nm |
平坦度
(λ=632.8 nm) |
10×10≦λ
15×15≦1.5λ |
10×10≦λ
15×15≦1.5λ |
10×10≦λ
15×15≦1.5λ |
オプション |
STEP基板
OFF基板
バイクリスタル基板
ブレイク溝付き基板 |
STEP基板
OFF基板
バイクリスタル基板
ブレイク溝付き基板 |
OFF基板
バイクリスタル基板 ブレイク溝付き基板 |